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分子泵的维修流程大致分为：再现性确认→电气特性检测→分解→打包→清洗→更换备件包→转子动平衡调整→重新装配→调整各个机械参数及传感器校正→泵体检漏→运转测试（包括直立运转与水平运转两种极端状态，同时用频谱分析仪监测其动态参数）→包装。详细如下：
岛津（SHIMADZU）TMP 系列分子泵维修验收标准 型号：TMP-203、303、403、803、1003、1303、1503及2804、3304、3804、4304
爱发科（ULVAC）UTM系列分子泵维修验收标准 型号：UTM-350、480、800、1400、2300、2301、3301、3302、3303、3500、6300
爱德华 STP 系列分子泵运转测试验收标准 STP-3306、4503、4506系列
岛津－三菱 FT 系列分子泵维修验收标准 型号：FT-350、480、800、1400、2300、2301、3301、3302、3303、3500、6300
TMP-2804、3304、3804、4304系列分子泵的设计缺陷与免责项目 由于以下问题属于设计缺陷，对于第三方维修商而言，应予以免责。
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